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產品詳細說明
200x200mm落地型旋轉塗佈機 (Floor-standing Spin Coater)
規格簡介:
●外觀尺寸:1140mm(W)x1310mm(D)x 2050mm(H)。
●基材:50mm×50mm or 200mm×200mm Glass Substrate。
●手動放片/自動供料
●機械及管路系統:自動供料手臂1組
●上蓋機構(Lid)具昇降與微調功能,調整範圍3~10cm
●主軸轉速:1~4,000 rpm Max. (±5rpm)。
●旋轉機構:AC Servo Motor
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。
詳細旋轉塗佈介紹與均勻性測試請參考型錄下載區檔案說明,可針對客戶需求安排塗佈測試。